据悉，目前，世界尤为先进的光刻机是由荷兰ASML制造的EUV光刻机，台积电、的7nm制程均离不开EUV光刻机。EUV光刻机精密复杂，这些技术掌握在由42个地区组成的专利保护联盟手里。如果ASML想要向中国销售EUV光刻机，得通过全部成员国的同意，而老美在这个联盟里有非常大的话语权，要知道，老美一直视我国为“眼中钉，肉中刺”，这从前年开始，老美持续打压包括华为、在内的中国企业就显而易见，基于此，我国一直在致力于攻克芯片有关技术，包括光刻机技术。
说到光刻机，直线电机因具备高速度、高精度等特点，被大力引入光刻机中作为驱动装置。
昆山同茂电子有限公司深耕直线电机领域十余年，同茂造直线电机在光刻机中已有实际应用案例，像上海微电子（国产光刻机智造企业）就是咱同茂的战略合作伙伴。
，为其晶圆代工厂提供最先进的工艺支持，日本虽然半导体制造水平这些年来提升不大，却也计划引进EUV
胶，并通过投影光学系统将图形投射到硅片上，以形成所需的微小结构和图案。
的高精度弧形反射镜系统。这个系统的多层层镀膜面形误差小于0.1纳米，达到了EUV级
MPA500FAb用光栅尺传感器(扫描部位)供应。型号：SONY SR-721 150mm SCALE UNIT with HK-105C`
是一种用于微纳米加工的设备，大多数都用在制造集成电路、光电子器件、MEMS（微机电系统）等微细结构。
的难度在于要满足复杂的制程需求、高精度的要求及大规模生产的挑战。为了应对这些挑战，
生产企业。2012年，asml推出了世界上第一个euv试制品，并于2016年推出了euv第一个商用显卡制造
是半导体制造领域的核心设备之一，其发展过程当然是半导体产业高质量发展的重要组成部分。虽然我们在网上经常可以看到
可以将曝光分辨率提高到7纳米以下的超高级别，以此来实现更高清晰度以及更高性能的芯片制造。
中国在芯片制造领域一直在追赶先进的技术，虽然在一些关键技术方面还存在一定差距，但近年来中国在
是半导体工业中很重要的设备，用于在半导体芯片制作的完整过程中将芯片图形化。由于
的精度和性能要求非常高，其制造难度也相对较大，目前市场上仅有少数几家公司能够生产出顶级
”是芯片制造中的关键设备，并且随着芯片技术演进，晶体管特征尺寸越来越小，需要用到的
的工作台是一个六自由度的运动台，其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch，
集一系列世界硬核技术于一身，其中自然离不开老美一些先进设备技术的加持，所以ASML的自由出货不得不受老美掣肘。 不过，近日传来一则好消息，ASML针对自由出货不愿意再妥协了——日前
为什么这么难呢？ 据说越小的东西，建造起来就越困难。 这句话不是没有道理的。 尽管手机中的芯片只有指甲
是当前半导体芯片产业的核心设备，其技术上的含金量和价值含量都很高。那么euv
设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制等
，是大规模集成电路生产的核心设备，对芯片技术有着决定性的影响。小于5 nm的芯片只能由EUV
是大规模集成电路生产的核心设备，它能制造和维护需要高水平的光学和电子产业基础，全球只有少数制造商掌握了这一基础。
作为其中重要的组成部分，其技术很复杂，价格也十分昂贵。 由于近期冲突，俄罗斯芯片进口遭严重限制，在其国内没有
是集成电路生产的关键设备之一，在整个生产的全部过程中占了重要的地位。高精度的工作台作为
就是利用特殊光线将集成电路映射到硅片的表面，如果想要硅片的表面不留下痕迹，就需要网硅片上涂一层
是采用类似照片冲印的技术，然后把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
作为芯片产业制造中必不可少的设备，也是工时和成本占比最高的设备，更是全球顶尖技术和人类智慧的结晶。那么目前有哪些国家可以制造出
是芯片制造的重要设备，内部结构精密复杂，它决定着芯片的制程工艺，是芯片生产中不可少的关键设备，而且
已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星，EUV
已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星，EUV
，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 可能有很多人都无法切身理解
产能如何？ ● 晶圆为什么是圆的？ ● 不同制程的芯片之间有何区别？ ● 什么是逻辑芯片，逻辑芯片又包括哪些？ ● 专用芯片与通用芯片 ● 中科院
中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm，若想将芯片工艺逐步提升至7nm乃至3nm等先进制程，EUV
根据芯思想研究院（ChipInsights）的数据表明，2020年全球集成电路、面板、LED用
巨头ASML，占据着芯片行业的顶端，毕竟没有了他们的设备，想要造出先进工艺制程的芯片是没戏的。 财报披露，ASML2020年全年净销售额140亿欧元，毛利率为48.6
系统集成和整体架构的核心企业，自然成了欧美自家的小棉袄，顺利赶上了欧美EUV技术探讨研究发展的风口，投资德国卡尔蔡司，收购美国Cymer光源。集成世界各国顶尖科技的EUV
，半导体或遭断链危机，摩尔定律将停止，人类也就无法设计、制造和封装硅芯片。放眼全球，一家叫做ASML（阿斯麦）的荷兰公司市场占有率达80%，是行业的绝对
是目前全球唯一能够完全满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV
作为世界上最贵最精密的仪器，相信我们大家都有耳闻，它是加工芯片的设备。其最先进的EUV（极紫外光）
系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
中，性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm，相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外的领先水平已达到了7纳米，正因如此，国内晶圆厂所需的高端
巨头阿斯麦（ASML）公司2019年的年报中披露了关于下一代EUV极紫
据中国证券报报道，3月6日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型
半导体器件被大范围的应用于从智能手机到汽车等所有的领域，在其制作的完整过程中半导体
格芯首席技术官Gary Patton表示，如果在5nm的时候没用EUV
的争夺战将会变得异常激烈。因为这是决定这些厂商未来在先进工艺市场之间的竞争的关键。
之所以这么出名，很大程度是由于荷兰在这方面下了很大的功夫，比如技术投入、研发团队以及资产金额的投入都是其他几个国家很难来做比较的。
的作用，顾名思义，就是“用光来雕刻的机器”。是用来实现上面说到的“光线侵蚀
的作用有多大，在这时候就反映出来了。即便是自己能研发出芯片了，但是没有
咱们国家大陆地区还是买不到的，似乎是在进行技术封锁，这也就苦了华为这样子就能够自主研发芯片的公司。
涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进的技术，是所有半导体制造设备中技术上的含金量最高的设备，因此也具备极高的单台价值量。
的生产大国，很多人纷纷都在问为什么荷兰能生产二中国不行.本文主要分析了中国
